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半导体精密零部件

●  公司具备半导体精密零部件的供应能力,包括光刻机、刻蚀机关键零部件以及红宝石限流喷嘴、各类电源等设备零部件。

●  公司是目前国内少数掌握应用于高端制程反应腔体喷涂技术的供应商,上海反应腔体项目位于上海金山。

●  公司可供应的其他半导体零部件包括CABLE ASSY、BALL SEAL、气缸、红宝石限流喷嘴、各类电源销售及服务、泵维修、阀维修、特种光源生产等。

    ·  供应面丰富;

    ·  核心零部件;

  

    • 直排电机

    • 光刻机用直排电机
    • 红宝石限流喷嘴

    • 高精密红宝石限流喷嘴应具有耐高温、耐腐蚀性、硬度大、高强度及高可靠性等性能特点
    • 其他产品

    CMP 研磨片、气缸、TEL Vigus Ball seal、Spring, 300MM PC XT、GSKT SHLD RF、CABLE ASSY, 300MM, HS3, DRIVER、红宝石限流喷嘴等